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電子級六氟化硫逐漸實現國產替代

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2022-07-19 11:15:00【

 六氟化硫(化學式:SF6)在正常條件下是一種無色、無味、無毒、無味和不易燃的氣體。作為一種電子氣體,六氟化硫具有良好的化學穩定性、耐腐蝕性、電絕緣性和耐熱性。廣泛應用于半導體、電力設備、航空航天、半導體制造、金屬加工、醫藥等領域。根據應用領域的不同,六氟化硫可分為工業六氟化硫和電子六氟化硫。近年來,隨著大規模集成電路技術的進步,市場對電子氣體的純度和質量提出了越來越高的要求。在此背景下,六氟化硫行業正逐步從工業質量升級為電子質量。

市場需求升級 電子級六氟化硫逐漸實現國產替代

 

電子質量六氟化硫可用作大型集成電路(如半導體和顯示設備)的蝕刻和清潔過程中的氟源和蝕刻氣體。電子六氟化硫作為一種高附加值精細化工產品,具有一定的技術、研發和應用價值D和資本限額。在早期階段,由于技術限制,中國電子質量六氟化硫的生產能力不足,其產品高度依賴進口。隨著進入21世紀,我國電子產業發展迅速,國內市場對電子級六氟化硫的需求迅速上升,自主生產電子級六氟化硫的需求迫切。

市場需求升級 電子級六氟化硫逐漸實現國產替代

 

根據新四杰工業研究中心發布的《2021至2025年中國電子六氟化硫市場可行性研究報告》,近年來,隨著中國半導體產業的不斷發展,電子六氟化硫的市場需求加快,中國電子六氟化硫的生產能力近年來加快。六氟化硫增加。目前,中國有許多六氟化硫制造公司,但具備大規模生產電子六氟化硫能力的公司很少,主要包括雅克科技、昊華科技及其子公司黎明化工研究設計院。其中,鈣化學研究設計院在國內電子六氟化硫市場占有70%左右的市場份額,公司的電子六氟化硫產品純度已達到5.5n。