六氟化硫(SF6)作為一種電子氣體,具有良好的化學穩定性、耐腐蝕性和電絕緣性,在半導體、電力設備、航空航天、金屬加工、醫療等領域應用廣泛。但六氟化硫也是《聯合國氣候變化框架公約》中重點控制的溫室氣體之一,它的溫室效應是二氧化碳的22800倍,《京都議定書》將其列為六大溫室氣體之一。各行業中使用的六氟化硫僅有一小部分被回收利用,大部分被直接排放到空氣中,因此六氟化硫氣體的高效回收與減弱其直接排放所導致的溫室效應具有重要的實際意義。