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蝕刻技術中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬復合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形。刻蝕分為濕法蝕更多 +
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萬能“氫”在醫療領域的應用
氫氣是我們非常熟悉的一種氣體,它可以用來充氣球,也可以用作燃料。如果說氫氣還可以用來治療疾病,你是否會覺得不可思議呢? “用氫氣治療疾病的研究在國際上已經逐漸成為一個熱點”,目前,用氫氣治療疾病的基本方法包括呼吸、飲用或注射氫氣溶液、促進體內細菌產生氫氣等。飲用富氫水是治療疾病最常用的方式。需要提醒的是,長時間使用氫氣可能造成肝臟和腦內許多基因表達發生改變,這意味著氫氣的作用可能不僅是一種抗氧化物質,還具有更復雜的生物學效應,需要化學、生物學和臨床醫學等領域更多 +
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如何檢查氣體剩余量?
瓶裝氣體現有氣態和液態兩種。氧氣、氮氣、氬氣、氫氣、氦氣、空氣為氣態氣體,乙炔氣為氣態溶解在丙酮之中,液氨、二氧化碳、笑氣等為液態氣體; 檢查氣態氣體是否符合滿瓶,常用的檢查方法是用壓力表測試氣瓶的顯示壓力; 檢查液態氣體是否符合滿瓶,常用的檢查方法是用磅稱稱重量,氣瓶鋼印所示的“W”符號是指鋼瓶的重量; 如乙炔氣為4-5Kg/瓶,其稱檢方法:總重量減去氣瓶的重量,以此類推; 乙炔不以減壓器(表)所顯示的壓力為滿瓶依據或標準。更多 +
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氮氫混合氣體在電子行業的應用
在電子器件生產工藝中。廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應氣和載氣。 用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高。 為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應用各種混合氣。其中,以應用氮-氫混合氣為最多。國外多采用液態氫和液態氮汽化法獲得氮氫混合氣, 也有采用液氮分解法更多 +
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三氯氫硅的安全運輸及裝卸
運輸的一般要求 (1)只允許有資格、有經驗并經過全面培訓的員工才能給儲罐及槽車取樣、連接、裝載、卸載或斷開。 (2)在取樣、連接、裝載、卸載或斷開操作中,應穿著防護服,在裝載或卸載區域8-15m的范圍內,應設置緊急淋浴裝置和洗眼噴泉,連接并準備好緊急情況下使用的消洗軟管,在操作前應測試相關的設施是否完好。 裝卸的方法 三氯更多 +
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檢測儀六組分標氣的使用過程和保養方法
在處理廠有毒氣體泄漏造成的危險在許多行業,包括化工,石油/天然氣,電力公用事業,食品飲料,制藥,紙漿/造紙,污水處理。泄漏源通常包括管道,閥門,水箱,燃燒器,冷凍機,分離器,照明系統,曝氣池等設備。 控制檢測儀六組分標氣,采用了特殊類型的電路該電路測量兩個點內的探測器電流。當可燃氣體進入的電路室,其中一半是溫暖的電路足以點燃氣體,它包含一個或燃燒催化劑。當氣體燃燒,在目前試驗區的變化熱和電力的電路流過被改變。這種變化觸發了報警裝置。每種器械的使用都會有某些的損傷,需要時常的維護才可以保證儀器的精確性。更多 +