在電子器件生產工藝中。廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用途，可將其分為保護氣、反應氣和載氣。
用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內為獲取氫氣和氨氣，為獲得較高純度的氫氣，一般都采用電解純水的方法制取。這種方法需用大量電能來電解水，一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高。
為減少電能消耗，降低成本，都在研制和應用各種混合氣。其中，以應用氮－氫混合氣為最多。國外多采用液態氫和液態氮汽化法獲得氮氫混合氣， 也有采用液氮分解法獲得氮氫混合氣的。
用液氫和液氮汽化來獲得氮氧混合氣的方法，由于采用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高。 國外，由于生產的專業化程度高，使用單位多采用這種方法獲得混合氣。 國內若從專業廠或大型聯合企業的副產物獲得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮獲得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解獲得的氮氧混合氣，由于液氮來源不同，大多數質量較差，其中仍含有未分解的氨、水和氧等雜質。此外，液氮多來源于化肥廠，目前，供應上較緊張，故成本也較高。
氮氫混合氣不僅可在生產電子器件時取代氧氣用作保護氣，還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業。 一旦廣泛推廣應用，必將產生可觀的經濟效益和社會效益。
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