運輸的一般要求
(1)只允許有資格、有經驗并經過全面培訓的員工才能給儲罐及槽車取樣、連接、裝載、卸載或斷開。
(2)在取樣、連接、裝載、卸載或斷開操作中,應穿著防護服,在裝載或卸載區域8-15m的范圍內,應設置緊急淋浴裝置和洗眼噴泉,連接并準備好緊急情況下使用的消洗軟管,在操作前應測試相關的設施是否完好。
裝卸的方法
三氯氫硅裝卸期間火災危險性較大。由于三氯氫硅蒸氣與空氣會形成可燃混合物,燒爆炸,遇水或受潮會發生劇烈反應并生產有毒的HCL,且三氯氫硅自身具有較強毒性,因而對三氯氫硅裝卸應有特殊的要求。其裝卸方法為利用壓縮機密閉狀態裝卸。用壓縮機抽出儲罐中的三氯氫硅混合氣體(因三氯氫硅的揮發性和熱膨脹性,容器內應留有不少于5%的空隙,即存在一定量的三氯氫硅混合氣體),壓入槽車中,此時儲罐內的壓力降低,槽車內的壓力升高,槽車和儲罐間形成一定的壓差,這樣槽車內的三氯氫硅液體就借此壓力被壓送到儲罐中,反之則將儲罐中的三氯氫硅液體壓送到槽車內。
三氯氫硅卸液必須嚴格遵守操作規程,操作人員應掌握本崗位的操作技術和防火要求,精心操作,隨時監控壓力表、液位計;在卸液是發動機應熄火,儲罐內的三氯氫硅應停止使用,并有專人監護,雷雨天停止卸液。在卸液過程中還容易產生靜電,應采用材質好且光滑的運輸管道;槽車裝卸液前,設備、管道都要先接好靜電接地線,必須保持有效長度的接地拖鏈;卸液時嚴格控制流速,流速應控制在0.7~2m/s,以防止產生靜電。