電子特氣:電子工業的血液
特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體和標準氣體。電子特種氣體(以下簡稱電子特種氣體)是
特種氣體的重要分支,是超大型集成電路(IC)、平面顯示器件(LCD、LED、OLED)、電子
工業生產中不可缺少的原材料,如太陽能電池。
通常在半導體生產行業,氣體分為常用氣體和特殊氣體。其中,常用氣體是指集中供應和使用大
量氣體,如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體是指在半導體生產過程中使用的一些化學氣體,
如延伸、離子注射、摻合、洗滌、掩膜形成,即氣體類別中的電子氣體,如高純度 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等,在 IC 在生產過程中,
使用的電子氣體幾乎相同 100 核心工段種類繁多,核心工段常見 30 種左右。正是這些氣體通過不
同的工藝使硅片具有半導體性能,決定了集成電路的性能、集成度、成品率,即使特定雜質超標,
也會導致嚴重的質量缺陷,嚴重的不合格氣體擴散,導致整個生產線污染,甚至完全癱瘓。因此,
電子氣體是制造過程的基本關鍵材料,是電子工業的“血液”。
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硫、四氟化碳、高純氨氣、笑氣、四氯化硅、六氟乙烷、三氟化氮、氯氣、氯化氫氣體、三氟甲烷、
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