氯氣于工業中用途廣泛，工業級的氯氣除一般已知添加于自來水中用以消毒，亦可用于作為鹽酸、漂白粉、聚氯乙烯塑膠PVC之制造原料。同時也運用在制造溶劑四氯化碳CCl4及氯仿CHCl3。另外與磷，三氯化磷等磷系化合物亦可合成亞磷酸二甲酯、亞磷酸二乙酯等作為塑膠添加劑、抗氧化劑、難燃劑及農藥等用途。電子級的氯氣，則因其具強氧化性且對硅、二氧化硅具良好選擇性，而使用于半導體之乾式蝕刻制程與熱氧化層之品質改善工作。

  本制程為以工業級的氯氣作為原料，利用吸附，蒸餾等化工單元操作方式，使原料中雜質與氯氣分離，達到將工業級的氯氣純化為純度更高的電子級的氯氣之目的，作為下游半導體業者蝕刻等用途。制程中，蒸餾塔之操作條件對產品純度具有關鍵之作用。反應曲面法(Response Surface Methodology)為一實驗設計方法，此方法透過因子設計、篩選等步驟，配合所欲達成之結果或特性，利用曲面之不斷逼近方式找出試驗，制程之適合操作點。

  本研究之內容即在于以反應曲面法針對氯氣純化制程中最關鍵之蒸餾單元，以實驗設計方式進行一有系統之試驗，先透過因子的篩選實驗，決定對于反應變數具顯著影響的因子。接著進行反應曲面實驗，利用數據解析與相關的統計技術，建立一可靠的迴歸模型，并依此找出最適化之操作變數，減少因頻繁改變因子所產生之系統擾動，達成制程改善之目標。

  化學小常識：

  氯氣的物理性質：

  物態     氣態
  密度     （0 °C, 101.325 kPa） 3.2 g/L
  沸點時液體密度     1.5625 g·cm−3
  熔點     171.6 K，-101.5 °C，-150.7 °F
  沸點     239.11 K，-34.04 °C，-29.27 °F
  臨界點     416.9 K，7.991 MPa
  熔化熱     (Cl2) 6.406 kJ·mol−1
  汽化熱     (Cl2) 20.41 kJ·mol−1
  比熱容     (Cl2) 33.949 J·mol−1·K−1
 

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