電子特氣的重要作用解密

什么是電子特氣？

電子特殊氣體是電子氣體的重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少

的原材料。電子特殊氣體種類繁多，廣泛應(yīng)用于離子注射、腐蝕、氣相沉積、混合等環(huán)節(jié)。

它被稱為集成電路、液晶面板、LED和光伏材料的“食物”和“來源”，決定了設(shè)備的最終產(chǎn)量

和可靠性。電子特殊氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子及相關(guān)太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)，或

用于薄膜沉積、腐蝕、混合、鈍化、清潔，或用于載氣、保護(hù)氣氛等。由于半導(dǎo)體和微電

子技術(shù)的發(fā)展，對電子特殊氣體的純度提出了越來越高的要求，電子特殊氣體的凈化變得

越來越關(guān)鍵和重要。

電子特氣上游多為III(硼、鋁、鎵)、IV(碳、硅、鍺)、V(氮、磷、砷)和鹵素(氟、氯)的基礎(chǔ)

化工行業(yè)在集成電路、面板、LED等領(lǐng)域的各個工藝環(huán)節(jié)都有多種用途。電子特氣是集成

電路、顯示面板等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可缺少的原材料。2021年，電子特氣在集成電路中的

應(yīng)用占43%，其次是顯示面板，占21%，LED和光伏分別占13%和6%。主要應(yīng)用環(huán)節(jié)包括

離子注射、腐蝕、氣相沉積、摻雜等。

常見的電子特氣有哪些？

C4F6純度高、 SiHCl3、HF、HCl、HBr、F2、SiH4、PH3、AsH3、B2H6、C4F8、N2O

、NH3、SF6、NF3、COS、CF4、BCl3、BF3、Cl2、Si2H6等。

為保證半導(dǎo)體設(shè)備的質(zhì)量和成品率，特種氣體產(chǎn)品應(yīng)滿足“超純”和“超純”的要求，“超純”要

求氣體純度達(dá)到 4.5N、5N 甚至 6N、7N作為特種氣體的核心參數(shù)，每次純度增加一個N，

粒子和金屬雜質(zhì)的濃度降低一個數(shù)量級，工藝復(fù)雜性和難度都會顯著提高。（N 是 Nine 簡

寫，幾個N 有幾個代表 9，例如3N 純度為99.9%)，“超凈”要求嚴(yán)格控制粒子和金屬雜質(zhì)的

含量。目前國內(nèi)企業(yè)普遍實(shí)現(xiàn)5-6n，而林德、法液空等海外龍頭企業(yè)技術(shù)可達(dá)6-9n。

市場如何？

2016年，中國特種氣體市場規(guī)模為156億元，2020年達(dá)到282億元。2016年至2020年，中

國特種氣體市場平均增速達(dá)到15%以上，增速明顯。有機(jī)構(gòu)預(yù)測，2020年以后仍將保持15%

以上的高速增長趨勢，2025年中國特種氣體市場預(yù)計將達(dá)到691億元。同時，國內(nèi)電子特種

氣體行業(yè)技術(shù)研發(fā)穩(wěn)步推進(jìn)，有望實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。2020年，全球電子氣體市場規(guī)模為58.5億

美元，預(yù)計2025年將超過80億美元，年復(fù)合增速將達(dá)到6.5%。未來國內(nèi)電子特種氣體市場

將有很大的增長空間。