電子硅烷氣體與半導(dǎo)體行業(yè)的不解之緣
首先,我們說的電子級硅烷氣是什么?
電子硅烷氣是一種特殊的電子氣體,主要由硅粉、氫氣、四氯化硅、催化劑等反應(yīng)蒸餾凈化而成。
純度超過6N的稱為電子級硅烷氣。
電子硅烷氣體與半導(dǎo)體行業(yè)的不解之緣
電子級硅烷氣主要用于半導(dǎo)體行業(yè),那么它在這個應(yīng)用中起到了什么作用呢?
電子硅烷氣是一種不可替代的特殊氣體,主要用于生產(chǎn)顆粒單晶硅、多晶硅、半導(dǎo)體、光伏、顯示面板等
領(lǐng)域。
電子硅烷氣主要用于半導(dǎo)體中的化學(xué)氣相沉積,主要用于半導(dǎo)體、集成電路等的生產(chǎn)。
電子硅烷氣在集成電路制造中起著關(guān)鍵作用,特別是在半導(dǎo)體薄膜沉積中,是形成薄膜的主要原料之一。
在芯片制造過程中,需要使用各種電子特性氣體,包括硅烷、PH3等摻雜氣體、CF4等蝕刻氣體、WF6等
金屬氣相沉積氣體等反應(yīng)氣體和清洗氣體。
這些特殊氣體廣泛應(yīng)用于硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、蝕刻、離子注射等核心工藝。
在光伏產(chǎn)業(yè)中,電子硅烷氣作用于光伏電池生產(chǎn)減反射膜,對光伏電池的光吸收效率和電性能有重大影響。
集成電路中硅烷氣的市場情況如何?
2020年,中國集成電路市場規(guī)模持續(xù)上升,達(dá)到1445億美元。
但事實上,2020年,中國生產(chǎn)了230億美元的集成電路產(chǎn)品,國內(nèi)對集成電路的需求依然依賴進(jìn)口,未來還
有很大的改進(jìn)空間。
得益于集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,電子級硅烷氣的應(yīng)用需求不斷上升,產(chǎn)業(yè)發(fā)展前景良好。
我國硅烷所代表的特種氣體市場情況如何?
在全球范圍內(nèi),超過70%的電子特氣應(yīng)用于集成電路領(lǐng)域,而在中國,這一比例為42%。
雖然目前我國集成電路本地化進(jìn)程仍面臨諸多挑戰(zhàn),但隨著市場需求的不斷增長和技術(shù)實力的提高,電子硅
烷氣在該領(lǐng)域的應(yīng)用有望繼續(xù)增長。
武漢紐瑞德特種氣體公司銷售的硅烷純度99.999%,達(dá)到電子水平,一般采用44L、47L鋼瓶充裝,也可根
據(jù)客戶需要分裝到8L氣瓶中。硅烷出廠附質(zhì)量分析報告,詳細(xì)參數(shù),專業(yè)技術(shù)人員提供氣體指導(dǎo),護您安
全使用。