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高純六氟化硫工業(yè)應(yīng)用及未來發(fā)展
工業(yè)級高純六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設(shè)備。六氟化硫的使用可以增加設(shè)備運(yùn)行的安全性、縮小設(shè)備體積、延長設(shè)備壽命。近幾年，國家大力發(fā)展基礎(chǔ)電力行業(yè)，給六氟化硫廠家?guī)砹撕艽蟮氖袌鰴C(jī)遇。主要用于半導(dǎo)體工業(yè)中作清洗氣體。另外高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內(nèi)需求非常旺盛，而且附加值較高。 高純六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術(shù)正被廣泛研究。該技術(shù)在大幅降低液晶產(chǎn)品加工中占相當(dāng)比例的CVD氣體成更多 +
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晶圓制造之血液
電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料 電子氣體簡介 特種電子氣（簡稱特種電子氣）是特種氣體的一個重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。 一般來說，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、P更多 +
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常見的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導(dǎo)體工業(yè)和微電子工業(yè)中扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，還有一個重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學(xué)氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴(kuò)散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴(kuò)散氣、化學(xué)氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
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臺大疑似砷化氫外泄，砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢？
據(jù)臺灣“中時電子報”報道，11月5日上午10時許，國立臺灣大學(xué)電機(jī)系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄，由于適逢期中考，校方緊急疏散師生，11人預(yù)防性送到醫(yī)院檢查。 臺灣網(wǎng)友指出，氣體是從4樓外泄，出事的實(shí)驗室是做半導(dǎo)體的，這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導(dǎo)體上面，其本身是無色無臭氣體，易燃且極毒。報道說，詳細(xì)情況及出事原因到底為何，仍有待進(jìn)一步了解。 在半導(dǎo)體中應(yīng)用,砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜；硅中n型擴(kuò)散；離子注入；生長砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
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半導(dǎo)體工業(yè)中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導(dǎo)體器件、化合物半導(dǎo)體、激光器、光導(dǎo)纖維、太陽能電池等的高純度氣體，一般純度在99.999%（5N）以上。其中55％的市場份額是背景氣體（如氧、氮、氬、氫、CO2等）；其他45％為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發(fā)展至100余種：混合氣己有17類、330多個品種，大約1000多種規(guī)格。超凈高純特種氣體配套性很強(qiáng)，根據(jù)不同用途分別有電子級、載氣級、發(fā)光二極管級、光導(dǎo)纖維級、VLSI級（超大規(guī)模集成電路級）等。最近為適應(yīng)兆位集成電路的生產(chǎn)更多 +
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高純氬的作用及注意事項
高純氬是主要的工業(yè)原料，也是最重要的工業(yè)氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業(yè)、冶金工業(yè)、食品加工、浮法玻璃、精細(xì)有機(jī)合成、航空航天等方面有著廣泛的應(yīng)用。高純氬的作用有很多，而且在使用的時候也有很多注意事項。下面譜源氣體為大家介紹一些氬氣方面的知識。 高純氬的作用： 1、高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護(hù)氣體。 2、可用作系統(tǒng)清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體。 3、在化學(xué)氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應(yīng)用。 ; 4、高純氬也可作為色更多 +
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高純六氟化硫氣體的應(yīng)用
高純六氟化硫氣體是我國科研、生產(chǎn)等許多部門急需的特種氣休,在半導(dǎo)體工業(yè)巾用于等離子蝕刻工藝,在光導(dǎo)纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領(lǐng)域也有重要用途。更多 +
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氨氣/一氧化二氮電漿處理鈦酸鎳/鈦酸鈷複晶硅絕緣層
氨氣要用于生產(chǎn)硝酸、尿素和其他化學(xué)肥料，還可用作醫(yī)藥和農(nóng)藥的原料，也可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、冶金工業(yè)，以及需要保護(hù)氣氛的其他工業(yè)和科學(xué)研究中。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及濃硫酸，但不與水反應(yīng)。它也可以用來作為火箭和賽車的氧化劑，以及增加發(fā)動機(jī)的輸出功率。科學(xué)家發(fā)現(xiàn)笑氣和氨氣能夠使鈦酸鈷及鈦酸鎳崩潰電場，從而發(fā)揮更大的潛力。更多 +
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