六氟化硫具有卓越的電絕緣性，電絕緣能力是空氣、氮氣的2.5倍左右。六氟化硫具有很好的滅弧性能，其滅弧能力是空氣的100倍左右，而且六氟化硫的化學性質非常穩定，所以六氟化硫被廣泛用作絕緣氣體，如六氟化硫繼電器，六氟化硫高壓斷路器，六氟化硫互導傳感器，六氟化硫避雷針等等。

  六氟化硫已經成為絕緣油之后的新一代絕緣性好，耐高壓的絕緣介質。

  高純六氟化硫氣體是我國科研、生產等許多部門急需的特種氣休,在半導體工業巾用于等離子蝕刻工藝,在光導纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領域也有重要用途。

  在TFT-LCD面板廠及其他微電子行業，高純六氟化硫氣體常用作清潔氣體和蝕刻氣體，在光導纖維的生產過程中，也常用六氟化硫作為單膜光纖隔離層摻雜劑。

  在鎂合金、鎂鋁合金的冶煉過程中，常常用高純六氟化硫氣體或者六氟化硫和氮氣的混合氣體作為保護氣體，其目的是防止金屬鎂及其合金被空氣氧化。

  在醫療行業，六氟化硫還用于超聲造影，主要是肝臟腫瘤的造影檢查。在超聲造影過程中，六氟化硫主要作為一種安全的造影劑使用，經靜脈注射六氟化硫后，氣體溶解于血液，每12分鐘六氟化硫氣體可以由呼吸方式排出一半。

  在大氣污染監測和水文地質檢測領域，常用六氟化硫氣體作為示蹤劑。因為六氟化硫具有無毒、安全、性質穩定、檢驗方法可靠、空氣和水中中含量少等特性，六氟化硫常被作為氣體示蹤劑使用，六氟化硫的失蹤范圍可以達100km。

  由于六氟化硫化學性質穩定，分子量大（六氟化硫分子量146.06），其密度是空氣的5.11倍，充入汽車輪胎或者籃球、足球中時，將能保持氣壓長期穩定。

  高純六氟化硫氣體是我國科研、生產等許多部門急需的特種氣休,在半導體工業巾用于等離子蝕刻工藝,在光導纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領域也有重要用途。

  六氟化硫在斷路器中使用時就防患溫度過低而導致出現液化六氟化硫。