電子特種氣體（簡稱：電子特氣）是特種氣體的一個重要分支，是集成電路（IC）

、顯示面板（LCD、OLED）、光伏能源、光纖光纜等電子工業生產中不可或缺的

關鍵性原材料，在電子產業中的作用相當于“生長激素”。廣泛應用于薄膜、光刻、

刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝，其質量對電子元器件的性能有重要影響。

氣體的產品種類豐富，電子元器件在其生產過程中對氣體產品存在多樣化需求。

例如集成電路制造需經過硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、蝕刻、離子注入等

工藝環節，這個過程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類超過 50 種，且每

一種氣體應用在特定的工藝步驟中。此外，在顯示面板、LED、太陽能電池片等

器件的制造中的不同工藝環節均會用到多種特種氣體。

電子特氣在其生產過程中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣

瓶處理等多項工藝技術，下游客戶對產品質量要求較高。尤其是極大規模集成

電路、新型顯示面板等精密化程度非常高的應用領域，對特種氣體的純化、雜

質檢測、儲運技術都有著嚴格的要求。

氣體純度：特種氣體要求超純、超凈。純度每提升一個 N 以及粒子、金屬雜質

含量濃度每降低一個數量級都將帶來工藝復雜度和難度的顯著提升。例如，12

 吋、90nm 制程的集成電路制造技術要求電子特氣的純度要在 5N~6N 以上，有

害的氣體雜質濃度需要控制在 ppb（10-9）；在更為先進的28nm 及目前國際一

線的 6nm~10nm 集成電路制程工藝中，電子特氣的純度要求更高，雜質濃度要

求甚至達到 ppt（10-12）級別。

配比的精度（混合氣）：隨著混合氣中產品組分的增加、配制精度的上升，常

要求氣體供應商能夠對多種 ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）級濃度的氣體組分

進行精細操作，其配制過程的難度與復雜程度也顯著增大。

氣體儲運：保證氣體在存儲、運輸、使用過程中不會被二次污染，對氣瓶內部、

內壁表面的處理涉及多項工藝，均依賴于長期的行業探索和研發；此外，對于

某些具有高毒性或危險性的氣體，需要使用負壓氣瓶儲運，以減少危險氣體泄

露風險。

氣體分析檢測：由于需要檢測的雜質含量低至 ppb 級別，需要使用特殊的氣相

色譜、ICP-AES、ICP-MS 等非常規分析方法