1.電子氣體污染的控制要求越來越嚴格：隨著電子消費品的升級，產

品的制造規模越來越大，對產品成品率和缺陷的控制越來越嚴格。整

個電子工業對電子氣源的純度和消除傳輸系統中的二次污染的要求越

來越嚴格。原則上，行業提出的電子氣體污染和顆粒尺寸的技術指標

與分析設備技術進步導致的檢測限（LDL）直接相關。例如，傳統的

激光顆粒測試儀可以測量0.1μm，而核心凝固技術（CNC）可以達到

0.01μm。

2、流量大，輸送連續穩定：電子氣傾向于集中供應，特殊氣體放在氣

室中。根據機器的流量要求合理配置輸送系統的數量。專用輸氣設備必

須采用全自動切換供氣，并設計更多備用設備。對于低蒸氣壓氣體

（WF6、DCS、BCl3、C5F8、ClF3等），有必要進行氣缸加熱、氣板

加熱、管道跟蹤等。高精度壓力變送器、電子天平、溫度控制器等。在

空氣源的末端。機器的氣體消耗點也配有質量流量計。

3.安全性越來越嚴格：電子氣體可能具有窒息性、腐蝕性、毒性、易燃

性、爆炸性等危害，其危害性已被不同國家、地區和行業組織詳細分類。

對于一家大規模生產的電子工廠來說，其使用和儲存的電子氣體數量可

以毫不夸張地被視為“大規模殺傷性武器庫”。規劃、施工和日常運營中

的任何潛在安全風險都會對工廠、人員和環境造成重大災難。

4.建設成本日益下降：隨著電子行業投資規模的增加，縮短建設時間和

降低建設成本變得越來越重要。對于電子氣體傳輸系統來說，在不降低

系統污染水平和犧牲安全配置的情況下降低建設和運營成本也是一個挑戰。