隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個(gè)新興門類，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。

 

近年來，隨著下游應(yīng)用領(lǐng)域的逐步擴(kuò)展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，我國已有的特種氣體達(dá)260余種。

 

隨著非低溫氣體分離技術(shù)（吸附、膜分離）、混配技術(shù)和提純技術(shù)的發(fā)展，更多的特種氣體產(chǎn)品將逐步走向市場。

 

電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國家相比，尚有較大差距。隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。

 

標(biāo)準(zhǔn)氣體又分為單標(biāo)氣體和多元標(biāo)準(zhǔn)氣體。目前，標(biāo)準(zhǔn)氣體基本滿足了我國石油、化工、環(huán)保、傳感器校準(zhǔn)等諸多領(lǐng)域的應(yīng)用。但對活性較強(qiáng)的標(biāo)準(zhǔn)氣，國內(nèi)尚無法徹底解決量產(chǎn)的問題，如氯標(biāo)氣、氯化氫標(biāo)氣等。

 

高純氣體即為大家熟知的氧氣、氮?dú)狻錃狻?a href="/haiqi.shtml" class='con_kwd' title="氦氣">氦氣、氬氣等（純度通常都是大于99.999%的）。高純氣體大多用于超大規(guī)模的集成電路及分離器件、光電子等高科技領(lǐng)域。當(dāng)前國內(nèi)公司主要靠精餾分離制備高純氣體，國外公示在制備某些高純氣體時(shí)采用吸附劑凈化的方法，實(shí)現(xiàn)了常壓凈化和高壓提純充瓶。國內(nèi)技術(shù)在這方面進(jìn)來雖有所突破，但提純技術(shù)還有待提高。