名稱/化學式：三氟化氮/NF3 包裝規格：44L、17L 純度(%)及雜質(ppm)：99.99% CAS號：7783-54-2 分子式：F3N 分子量：71 EINECS號：232-007-1
名稱：nitrogen trifluoride　分子式：NF3
氣體物化特性
分子量 熔點 沸點 臨界溫度 臨界壓力 液體密度 氣體密度 CAS號 71.01 -206.8℃(1atm) -129℃(1atm) -39.3℃ 44.02atm(4.46MPa) 1554kg/m3(1atm沸點時) 2.95kg/m3(1atm 21℃） 7783-54-2
包裝 ( Cylinder（47L）、Bundle(16×47L)、Bundle(25×47L)、 Y-Cylinder(470L)、 ISO等)
鋼瓶容積 鋼瓶型號 閥門 鋼瓶壓力 氣體質量 危規號 UN編號 包裝分類 包裝標志 47L、43.3L、40L、8L DOT-3AA、GB5099 CGA330、CGA640 9.0-13.0MPa 22kg、20kg、3.4kg 23016 2451 Ⅱ 6
儲存及運輸
三氟化氮氣瓶應儲存于陰涼、通風倉庫內。三氟化氮氣瓶應遠離火種、熱源、防止陽光直射，與還原劑、易燃或可燃物等分開存放。
三氟化氮氣瓶在搬運時要輕裝、輕卸，防止鋼瓶及附件破損。
三氟化氮氣瓶的運輸按危險品運輸。運輸時用氣瓶固定架將三氟化氮氣瓶固定好，用汽車公路運輸或用輪船集裝箱運輸。
泄漏應急處理
如遇有三氟化氮氣體泄露，工作人員要馬上撤離泄漏污染區，并盡可能采取措施阻止三氟化氮氣體的進一步泄露。如有工作人員中毒，應立即送往醫院救治。
泄露現場要盡快處理，處理泄露現場的工作人員必須配戴必要的防毒面具，最好是自給正壓式呼吸器。泄露現場經檢測無危害氣體后方可進入工作人員，泄露容器必須經仔細檢查、維修或妥善處理好后方可繼續使用。
三氟化氮氣體產品質量標準（QJ58-2007）
雜質 NF3≥99.995% Vol.% NF3≥99.99% Vol.% NF3≥99.98% Vol.% NF3≥99.9% Vol.% CF4 ≤20 Vol.ppm ≤40 Vol.ppm ≤100 Vol.ppm ≤500 Vol.ppm N2 ≤5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm O2+Ar ≤3 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤50 Vol.ppm CO2 ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm H2O ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm 酸份（以HF計） ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1 Vol.ppm ≤1  Vol.ppm SF6 ≤1 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤2 Vol.ppm ≤25 Vol.ppm N2O ≤1 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm CO ≤0.5 Vol.ppm ≤5 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm ≤10 Vol.ppm
三氟化氮檢驗系統	三氟化氮產品檢測

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