六氟化硫氣體無毒，但如果在填充過程中處理不當，則很容易泄漏。然而，如果泄漏且濃度過高，則非常危險。它們會導致不純的氣體和污染物。因此，必須加強這種氣體的泄漏檢測。

當氣體中的水分超過規格時，當水分發生變化時，六氟化硫氣體會凝結在固體絕緣表面上，導致表面變得潮濕。此時，設備的表面放電電壓會受到影響，并出現顯著下降。因此，在填充之前，應測量六氟化硫環境的相對濕度，濕度應在80%以下。如果測量不合格，采取行動或選擇干燥天氣進行填充。

此外，檢測六氟化硫氣體的常用方法包括：

電化學技術：當六氟化硫氣體在約200°C的溫度下接觸高溫催化劑時，發生化學反應，并改變電信號以確定氣體是否泄漏。高壓傳播技術：主要利用氣體絕緣，根據檢測到的空氣中高壓電極之間的電壓變化，評估空氣中是否存在泄漏氣體。紅外光譜技術：氣體對特定波段的紅外光有很強的吸收。該方法具有成本高、結構復雜、靈敏度高、無環境干擾、檢測誤差小等優點。

為了及時清除和更換泄漏的高純度六氟化硫，在加注時啟動風扇，并仔細遵守規定。填充后，根據具體情況檢查側面和中間的側面。