現(xiàn)在科學(xué)技術(shù)的發(fā)展和技術(shù)的提高,關(guān)于一些先進(jìn)技術(shù)的制造材料也被稱(chēng)為越來(lái)越多,
在像芯片制造行業(yè),需要一些更先進(jìn)的材料,比如高純度的硅烷,高純一氧化二氮、
氨氣、氖氣等電子特種氣體是作為半導(dǎo)體電子行業(yè)應(yīng)用的一種特種氣體,歷來(lái)被譽(yù)為
電子行業(yè)的“血液”,廣泛應(yīng)用于各類(lèi)半導(dǎo)體制造過(guò)程。
電子特種氣體對(duì)氣體質(zhì)量要求非常高,我國(guó)大部分仍依賴(lài)進(jìn)口。目前,我國(guó)部分產(chǎn)品
已取得突破,如高純硅烷、高純氨、高純亞硝酸鹽、高純CL2、高純氬、高純鍺烷等。
但國(guó)內(nèi)電子行業(yè)存在一些難以突破的技術(shù)壁壘。
首先,深度凈化技術(shù)難度大。以硅烷為例,純度從4N提純到6N還有很長(zhǎng)的路要走。
除解決常見(jiàn)氣態(tài)雜質(zhì)的凈化問(wèn)題外,金屬元素應(yīng)凈化至10-9至10-12級(jí)別。二是包裝
儲(chǔ)運(yùn)跟不上。超高純氣體的生產(chǎn)和應(yīng)用需要采用高質(zhì)量的氣體包裝儲(chǔ)運(yùn)容器以及相
應(yīng)的氣體輸送管道、閥門(mén)和接口,以避免二次污染的發(fā)生。三是分析測(cè)試?yán)砟盥浜蟆?/span>
電子氣體生產(chǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域的分析檢測(cè)技術(shù)的研究和開(kāi)發(fā)在國(guó)內(nèi)還沒(méi)有引起足夠的重視。
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