四氟化碳CF4在電子工業(yè)中的廣泛應用

四氟化碳CF4是電子工業(yè)中常見的原料氣體，分子式：CF4，分子量：88，物化性質：- 熔點

:-184℃，相對密度:-128，四氟化碳非常穩(wěn)定。即使在碳精電弧的高溫下，也只有微弱的反應。

溫度高于1萬℃時，四氟化碳與二氧化碳反應產生碳酰氟。除非反應條件極其激烈，否則各種

氧化劑和還原劑對四氟化碳沒有影響。

四氟化碳產品用途：
四氟化碳是微電子工業(yè)中使用最多的等離子燭刻氣體，其高純度和四氟化碳高純度與高純度氧

氣混合。

1. 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢膜材料燭刻。對于硅和二氧化硅系統(tǒng)，

通過調整兩種氣體的比例，可以獲得45：1的選擇性，這在刻蝕多晶硅格柵極上的二氧化硅薄

膜時非常有用。

2. 電子器件表面清洗、太陽能電池生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、
還廣泛應用于泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產中的去污劑等方面。

3. CF4由于其強大的化學穩(wěn)定性，也可用于金屬冶煉和塑料工業(yè)。

4. 四氟化碳具有良好的溶解氧，因此被科學家用于超深度潛水實驗，而不是普通的壓縮空氣。

目前，它已經在老鼠身上取得了成功，在275米到366米的深度內，老鼠仍然可以安全地脫離

危險。

四氟化碳CF4產品的包裝和儲存
(1)包裝-四氟化碳鋼瓶
名稱：鋼質無縫氣瓶 (執(zhí)行標準GB5099\ISO909)
(2)儲存-四氟化碳
1. 氣瓶的使用和檢驗符合國家質量技術監(jiān)督局《氣瓶安全監(jiān)督條例》的規(guī)定。
2. 氣瓶不得靠近火源，不得暴露在陽光下，與明火的距離一般不小于10米，氣瓶不得撞擊。
3. 氣瓶的瓶子嚴禁沾油。
4. 氣瓶內的氣體不能全部用盡，應留下不小于0.04MPa的剩余壓力。

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