四氟化碳在常溫常壓下為無色無臭有輕微醚味的氣體。空氣中不燃燒，是比較穩定的無毒物質。但

是在高溫時，或與可燃氣體一同燃燒時，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能與二氧化碳形成羰

基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa時，水中溶解度為0.0015%(重量)。有輕微的水解作用。四

氟化碳是目前微電子工業中用量大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅

玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產，激光技術、氣相絕緣、低

溫制冷、泄漏檢驗劑、控制宇宙火箭姿態，印刷電路生產中的去污劑等方面也大量使用。由于它的

化學穩定性，四氟化碳可用于金屬冶煉，例如：銅、不銹鋼，碳鋼、鋁、蒙乃爾等；還可用于塑料

行業；如：合成橡膠、氯丁橡膠、聚氨基甲酸乙酯。

4. 氣瓶內的氣體不能全部用盡，應該留不小于0.04MPa剩余壓力。

四氟化碳 CF4 華中地區生產供應商武漢紐瑞德特種氣體公司供應高純四氟化碳氣體，貨源充足，武

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