如何儲存超高純氮氣

諸如氮氣的超高純度氣體通常用作集成電路、半導體和電子真空器件制造中的保護氣體和載氣，用作化

學氣相沉積中的載氣，用于液體擴散源的載氣以及用作高溫擴散爐中設備的保護氣體。

在外延、光刻、純化和蒸發等工藝中，高純度氮氣被用作擠出、干燥、儲存和運輸的氣體。在圖像管的

生產中，氮的純度必須在99.99%以上。在空間技術中，液氫填充系統必須首先用高純度氮代替，然后用

高純度氮氣代替。

對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴重影響氣體的質量，因此氣體儲存和運輸過程中的清潔度和高密封

性尤為重要。最純凈的氣體主要儲存和運輸在高壓鋼瓶或低溫液化氣罐中。

高壓鋼瓶堅固耐用，運輸使用靈活，沒有氣體損失，但氣體純度和穩定性較差；低溫液化氣容器每體積單

位具有較大的儲存容量，但存在氣體排放損失。