氣體管道工程中常說的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣的？
文章出處：責任編輯：人氣：-發表時間：2023-06-16 09:51:57【大
中 小】
氣體管道工程中常說的氦氣檢漏（氦檢）是怎樣的？
在氣體管道工程中，由于施工中的各種因素，在一些管道的連接處可能會有一些肉眼難以察覺的小孔，
使用時會導致泄漏，造成事故。特別是在半導體、集成電路等微電子行業中，如果發生泄漏，輸送超
高純電子特殊氣體的燃氣管道工程將對生產安全產生很大影響，因此檢漏非常重要。
一.常說的氦檢是什么？
首先，我們要了解，氣體管道的五項測試是QC中最重要的一部分，這五項測試分別是：保壓測試、
氦氣檢漏測試（氦檢）、水分測試、氧分測試和顆粒測試，確保氣體管道系統的品質達到一定的水
準和滿足客戶的需求。
二.氦氣是如何檢漏的呢？
眾所周知，在元素周期表中，氦（He）的相對分子質量是除氫（H）以外最小的，是最輕的惰性氣
體。氣體管道的氦氣檢漏（氦檢）利用的就是這一點。
1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應采用向內檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。
2.向內檢漏法（氦氣注入法）是通過內部吸入高純度氣體管線，外部噴射氦氣來進行的
3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣，并在下游抽真空
4.必須使用朝外檢漏法（吸槍法）在高純度氣體管線內填充氦氣或氦氮混合物，并使用外部吸槍檢
查可能的泄漏點
5.氦檢漏儀必須是質譜氦檢漏器，檢測精度不低于1
6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求：
（1）通過向內泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s
（2）閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s
（3）向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s
7.氦檢漏發現的泄漏點修復后，必須重新進行氣密性試驗，合格后，再按規定進行氦檢漏
8.所有可能的泄漏應使用塑料袋進行隔熱
9.系統測試后，用高純度氮氣或氬氣填充和清潔
10.檢查后，應提交試驗報告
中國特種氣體供應首選品牌
