根據六氟化硫氣體的基本物理性質，與空氣相比，它相對容易液化。六氟化硫的狀態取決于其壓力、溫度和其他參數。

六氟化硫氣體的臨界溫度是高溫極限，這表明氣體可以液化。臨界溫度越低，氣體液化的可能性越低。氣體的臨界溫度為45.6℃。如果溫度高于45.6℃，氣體可以保持恒定狀態。低于該溫度，只要壓力足夠高，它就可以液化（例如，液化開始于0℃下約1.2MPa）。然而，對于N2，在室溫下不存在液化問題，只有當溫度低于146.8℃時才能液化。

六氟化硫氣體的臨界壓力表示臨界溫度下液化所需的壓力，即該溫度下的飽和蒸汽壓力。在臨界溫度下，飽和蒸汽的密度與液體的密度相同，兩者之間的邊界消失。蒸發熱變為零，物理性質沒有差異。

高純度六氟化硫是一種無毒的惰性氣體。但氣體的質量大約是空氣的五倍。在高壓配電室或電纜溝中，當大量氣體從六氟化硫斷路器溢出時，六氟化硫首先積聚在地面上，然后從低到高不斷積聚，以排出相應的空氣。當工人進入房間或電纜溝時，他們吸入沉積在地板上的氣體，導致缺氧或窒息。