當六氟化硫氣體的純度較低時，其絕緣強度大大降低，并且在用于電氣絕緣時容易被高壓降解，導致事故。從有關部門的試驗研究結果可知。那么，氣體純度不純的原因是什么？

六氟化硫氣體的純度不高，出廠時含有劇毒的低硫氟化物、氟化氫等有毒氣體。眾所周知，目前化學工業(yè)中生產六氟化硫氣體的方法主要是元素硫和過量氣態(tài)氟的直接結合；即s+3f2→sf6+q（熱輸出）。

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合成的原料中有多種雜質。由于原材料的純度、生產設備的材料、工藝條件和其他因素，雜質的組成和含量差別很大。總雜質含量可能為5%。由硫和氟化合物組成，如S2、F2、SF2、SF4等；硫-氟-氧化合物，如SOF2、SO2F2、sof4等，以及帶入原材料的雜質，如HF、of2、CF4、N2、O2等。

為了凈化原料產品中的雜質，合成的六氟化硫氣體還需要經過許多凈化過程，如水洗、堿洗、熱解（去除劇毒的十氟化碳）、干燥、吸附、冷凍、蒸餾和凈化，以生產純度大于99.8%的產品。然后由壓縮機加壓，注入冷卻至-80℃左右的液態(tài)鋼瓶。

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除上述合成過程中產生的雜質外。此外，在高純度六氟化硫的填充過程中，可以混合少量空氣、水、礦物油和其他雜質，這些雜質已經或將產生某些有毒物質。為了確保六氟化硫的純度和質量，六氟化硫國際電工委員會（IEC）和許多國家制定了質量標準，并要求制造商在交付時提供無毒生物檢測證書。