氦質譜檢漏法利用氦質譜檢漏儀的氦分壓測量原理，測量被試件的氦泄漏量。如果被測零件的密封表面有泄漏，則表明泄漏的氦氣和其他氣體已從泄漏處排出。泄漏氣體進入氦質譜儀泄漏檢測器后，由于其選擇性檢測能力，僅顯示氣體中的氦分壓信號值。在獲得氦氣信號值的基礎上，可以通過比較標準泄漏孔來獲得氦氣從泄漏孔的泄漏量。根據泄漏檢測過程中顯示的泄漏氣體位置與被測對象之間的不同關系，氦質譜泄漏檢測方法可分為真空法、超壓法、真空壓力法和背壓法。綜述了這四種氦質譜檢漏方法的檢測原理。優點和缺點以及測試標準。 1.真空質譜法的泄漏檢測。 如果使用真空法檢測泄漏，則應使用輔助真空泵或泄漏檢測器對測試產品的內部密封室進行真空處理，并通過氦帽或噴霧法將氦氣施加到測試產品的外表面。如果被測產品表面有泄漏孔，氦氣通過泄漏孔進入被測產品，然后進入氦氣質譜儀檢漏儀，實現對被測產品的泄漏測量。根據泄漏方法的不同，真空過程可分為真空注入法和真空氦帽法。 真空噴涂法：用噴槍將氦氣噴涂在被測產品的外表面，可以實現對泄漏的精確定位； 真空氦蓋法：用具有特定密封功能的氦蓋蓋住所有被測產品，使其充滿一定的氦濃度，并測量被測產品的總泄漏率。 真空法的優點和缺點。 真空法的優點是檢測靈敏度高，定位準確，能夠檢測大型容器或復雜結構產品中的泄漏。 真空工藝的缺點是只能在匹配壓差較大的情況下實現泄漏率檢測，不能準確反映產品的真實泄漏狀態。 真空法主要用于有真空密封性能要求但無壓力的產品，如空間移動部件、液氫罐、環境模擬設備等。 2.超壓氦質譜泄漏檢測。 當使用超壓方法檢測泄漏時，測試產品的內部密封室應充滿高于空氣壓力的氦氣。如果測試產品的表面有泄漏，氦氣通過泄漏進入測試產品表面周圍的大氣環境，然后使用吸槍檢測測試產品周圍大氣環境中氦氣濃度的增加，從而實現測試產品的泄漏測量。根據收集氦氣的方法不同，超壓法可分為超壓吸槍法和超壓積聚法。正壓吸槍法：用檢漏吸槍對被測產品外表面進行掃描檢測，實現對泄漏的準確定位； 超壓累積法：使用具有特定密封功能的氦氣蓋覆蓋所有檢測產品，并使用檢漏儀測量氦氣蓋內氦氣濃度在一定時間前后的變化，實現對檢測產品總泄漏率的精確測量。 超壓工藝的優點和缺點。 超壓方法的優點是真空系統不需要任何支撐，并且可以精確定位以在任何工作壓力下實現檢測。 超壓方法的缺點是檢測靈敏度低、檢測結果不確定以及測量環境的顯著影響。 超壓法主要用于高壓氦氣瓶、艙口檢漏儀等大容量高壓密閉容器產品的泄漏檢測。 3.氦質譜檢漏真空壓力法。 當使用真空壓力法進行泄漏檢測時，有必要將整個測試產品放置在真空密封室中。真空密封室連接到輔助排氣系統和泄漏檢測器。被測產品的充氣接口通過連接管引出真空密封室，然后連接到氦源。如果被測產品表面有泄漏，氦氣通過泄漏進入真空密封室，然后進入氦氣質譜儀檢漏儀，測量被測產品的總泄漏率。