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韓國稀有氣體“氖”成功實現國產化!

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2022-01-17 13:58:00【

 

隨著近年來半導體市場的高速增長,半導體工藝中使用的氖 (Ne)、 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國稀有氣體市場預計將從2020年約1600億韓元增長到2023年約2800億韓元,年均增長20%。然而,韓國目前100%進口稀有氣體。

 

氖氣是空氣中含量僅有0.00182%的一種稀有氣體,是半導體曝光工藝中使用的準分子激光氣體的原料之一。過去,全部進口并依賴外國技術,由于貿易爭端導致價格飆升和供應短缺,韓國曾試圖將產品本地化。此次建成的裝置每年可生產約22000Nm3高純氖氣,預計可滿足國內需求的16%。POSCO于去年年底完成了產品質量評估,今年將完成設施竣工并正式開始商業生產。作為成功完成課題的獎勵,TEMC獲得了初期投資金的全部補償,并取得了POSCO氖氣的長期購買權。

 

浦項制鐵1月12日在光陽工廠制氧廠舉行了“氖氣生產設備竣工和發貨儀式”,該項目由韓國鋼鐵制造商浦項制鐵(POSCO)與半導體專用氣體公司TEMC合作。從2019年底開始推進氖氣生產的完全國產化約兩年。公司采用大型空分裝置,以光陽制氧廠和TEMC技術為基礎,自主開發了國內首個氖氣生產設備。在韓國首次將半導體用稀有氣體氖(Ne)的生產設備和技術本地化,并交付了第一批產品。TEMC利用自有技術對提取的氖氣進行提煉后,完成了準分子激光氣體生產全過程的國產化。

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