氖氣是空氣中含量僅有0.00182%的一種稀有氣體,是半導體曝光工藝中使用的準分子激光氣體的原料之一。過去,全部進口并依賴外國技術,由于貿易爭端導致價格飆升和供應短缺,韓國曾試圖將產品本地化。此次建成的裝置每年可生產約22000Nm3高純氖氣,預計可滿足國內需求的16%。POSCO于去年年底完成了產品質量評估,今年將完成設施竣工并正式開始商業生產。作為成功完成課題的獎勵,TEMC獲得了初期投資金的全部補償,并取得了POSCO氖氣的長期購買權。
浦項制鐵1月12日在光陽工廠制氧廠舉行了“氖氣生產設備竣工和發貨儀式”,該項目由韓國鋼鐵制造商浦項制鐵(POSCO)與半導體專用氣體公司TEMC合作。從2019年底開始推進氖氣生產的完全國產化約兩年。公司采用大型空分裝置,以光陽制氧廠和TEMC技術為基礎,自主開發了國內首個氖氣生產設備。在韓國首次將半導體用稀有氣體氖(Ne)的生產設備和技術本地化,并交付了第一批產品。TEMC利用自有技術對提取的氖氣進行提煉后,完成了準分子激光氣體生產全過程的國產化。