我們使用高純度的六氟化硫作為絕緣氣體，這是因為它具有優異的絕緣性。六氟化硫制造商表示，六氟化硫微水過多會導致水蒸氣結霜，從而降低絕緣強度，直接影響設備的正常運行。當六氟化硫微水超標時，水和這些蒸汽會產生金屬氟化物，從而腐蝕部件表面。也可能存在硫化氫、HF和其他劇毒物質。

因此，為了避免高純度六氟化硫微水可能造成的損害，我們應該從源頭上解決這個問題。購買品牌制造商生產的六氟化硫氣體，并確保氣體出廠時水分合格，是解決問題的好方法。六氟化硫制造商提醒用戶，如果發生泄漏，這會腐蝕設備并直接危及人員的生命和健康。

在高寒地區，必須考慮高純度六氟化硫的液化。液化可以通過加熱短路或使用SF6-N2混合氣體作為滅弧劑來解決。由于SF6氣體很容易液化，因此目前假定為液體還原。石灰六氟化硫回收裝置的原理是冷凍液化法的原理。