由于高純度六氟化硫的廣泛使用，為了確保其安全，設備室必須遵守以下規定：

在進入高純六氟化硫設備配電裝置的房間之前，將風扇定時器轉到15分鐘位置，以進行強通風。通風后，在指定的檢測地點使用檢漏儀測量六氟化硫氣體含量，以確保室內空氣新鮮。嚴格執行現場的操作規程和規定，兩人必須進入房間進行檢查，以防發生突發危險。為保護人員和設備的安全，嚴禁進入六氟化硫配電室進行維護。

由于高純度六氟化硫具有優異的物理和化學性能、滅弧絕緣性能，并且電阻比空氣高2.5倍，0.29 MPa時的電阻與變壓器油相似，并且六氟化硫氣體中沒有氧氣，因此觸點和其他部分不存在氧化問題。

高純度六氟化硫裝置的觸點幾乎沒有磨損，即使在高電流下中斷。六氟化硫電氣設備不僅適用范圍廣，而且維護方便，占地面積小，空間小。六氟化硫氣體作為絕緣介質的全封閉組合電氣設備可包括斷路器、隔離開關、接地開關、互感器、母線、避雷器等部件，高壓電源部件均密封在鋼殼內，無觸電風險，提高了運行安全性。

同時，由于密封組合，它避免了外部環境的影響，適合在大城市、工業密集地區和重污染地區安裝和使用變電站。因此，近年來，以六氟化硫氣體作為主要絕緣材料的電器在能源系統中得到了廣泛應用。因此，我們應高度重視六氟化硫電氣設備的安全運行。