電子特種氣體被稱作工業氣體“王冠上的明珠”，同時，作為半導體制造的關鍵材料，

也被譽為半導體產業的“血液”，會直接影響半導體產品的性能。在集成電路晶圓制

造過程中，電子特氣的使用占比接近14%，系僅次于硅片的第二大耗材。

目前國內自主生產的電子特種氣體市場份額占比較小，據中國工業氣體工業協會統

計，我國僅能生產約20%的集成電路生產用電子特氣品種，高端產能不足，進口依

賴嚴重。

同時，因為技術、認證周期、資金、資質等數個壁壘，導致目前國際電子特氣的產

能已經被壟斷。全球和中國電子特氣市場均主要被海外公司占據，主要生產商分別

為美國空氣化工、德國林德集團、法國液化空氣和大陽日酸，合計占據全球電子特

氣91%的市場份額，并且在中國占據主導地位。

當然，危機中也孕育著機遇。有分析指出，華特氣體作為兼具產品研發和客戶優勢，

特氣產品種類最完備的上市企業之一，有望先行摘得行業紅利。據了解，華特氣體

的拳頭產品光刻氣通過了荷蘭ASML和日本GIGAPHOTON株式會社的認證，是目前

國內唯一一家通過兩家認證的氣體公司。

華特氣體、金宏氣體、中船特氣等A股頭部氣體廠商已成為中芯國際、華虹半導體等

國內集成電路生產企業的特氣主要供應商，產品陸續獲得臺積電、聯華電子、德州儀

器、海力士等海外領先企業的認證，部分產品已進入相關企業供應鏈。同時，電子特

氣國產化率仍有較大的提升空間，據前瞻產業研究院預測，到2025年中國電子特氣市

場的國產化占比將提高到25%。

業內指出，電子特氣的需求在2023年年內或將在集成電路、面板、光伏三大支柱產業

的支持下完成逆轉提升。按照過去半導體周期的輪回，這也意味著行業低谷已過，至

2024年，全球半導體設備投資將快速回暖至920億美元，同比增長21%。隨著全球半

導體設備的投資額回升，將帶動包括電子特氣在內的相關材料需求。