電子氣體的分類與應用全解析  

電子氣體，多為集中供應，可分為大宗氣體，包括氮氣、氫氣、氬氣、氦氣、氧氣、二氧化

碳等；電子特種氣體，包括笑氣、氨氣、硅烷、四氟化碳、六氟化硫、氯化氫、四氟環丁烷、

甲烷等氣體。



電子氣體是電子工業生產中不可缺少的原材料，如超大型集成電路、平面顯示器件、化合物

半導體器件、太陽能電池、光纖等。廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝。

隨著我國超大型集成電路、平板顯示器、光伏發電等行業的快速發展，電子氣體市場需求顯

著增加。

一、什么是電子氣體？

1、電子氣體的含義：氣體工業術語，半導體工業用氣體統稱為電子氣體。

2、電子氣體分類：根據其類別可分為純氣體、高純氣體和半導體特殊材料氣體。特殊材料

氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純氣體主要用于稀釋氣體和載體氣體。電子氣體是

特殊氣體的重要分支。電子氣體按純度等級和使用場合可分為電子等級，LSI(大型集成電路)

級，VLSI(超大型集成電路)級和ULSI級(超大型集成電路)級。

二、列舉電子氣體應用

1、電子氣體系統技術的應用

在目前工藝技術先進的超大型集成電路廠的晶圓片制造過程中，所有的工藝步驟都超過了通

道，大約使用不同種類的電子氣體。電子氣體輸送系統是指在充分保證工藝和產品安全使用

的前提下，穩定地將電子氣體從氣源端輸送到工藝生產設備的氣點，無二次污染，控制工藝

要求的流量和壓力。根據氣體的性質和供應包裝的不同。

2、氨在電子工業中的應用

氨是一種由氮和氫組成的化合物。它是一種具有特殊刺激性氣味的無色水溶性氣體。大多數

氨用于生產肥料，也是幾乎所有含氮化合物的前身。高純度特殊氣體在LED生產中起著至關

重要的作用。超純氨是用來確保生產最高質量的LED元件。這是因為氧氣含有水蒸氣分子，

即使是微量的，也可以大大降低光能輸出。

3、硅烷的應用

硅烷、硅和氫化合物易自燃和爆炸，是一種高危氣體。目前廣泛應用于微電子和光電子行業，

用于制造太陽能電池、平板顯示器、玻璃和鋼涂層。此外，還用于制造先進陶瓷、復合材料、

功能材料、生物材料、高能材料等高科技應用。

4、笑氣在電子行業的應用

笑氣，即一氧化二氮，無色甜氣體，是一種氧化劑，廣泛應用于電子工業和食品飲料，甚至

在一些電子產品的開發中發揮著至關重要的作用。為了實現電視、手機和電腦顯示屏的更高

分辨率和幀速率，笑氣在下一代超高清3DTFT-LCD低成本開發(薄膜晶體管液晶)顯示屏和

OLED(發光二極管)顯示屏至關重要。
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