電子級硅烷氣在半導體行業的應用

電子硅烷氣主要用于半導體工業、顯示面板工業、光伏工業、負極材料等。
電子級硅烷氣（electronic grade silane）它是一種無色、非常活躍的壓縮氣體，在空氣中自燃。

它被廣泛使用，特別是在半導體行業中，電子硅烷氣體起著至關重要的作用。在半導體行業中，

電子硅烷氣體主要用于擴展沉積晶硅膜和生產多晶硅膜、一氧化硅膜和氮化硅膜。此外，它還

用于制作高純多晶硅、二氧化硅膜、氮化硅膜、多晶硅隔離層、多晶硅歐姆接觸層和異質或同

質硅擴展生長原料，以及離子注入源和激光介質。在光伏行業中，電子硅烷氣體作用于光伏電

池生產減反射膜，對光伏電池的光吸收效率和電性能有重大影響。電子硅烷氣體在顯示面板行

業和負極材料領域也發揮著重要作用。

電子硅烷氣的純度一般在6N以上(99.9999%)，具有純度高、無污染、對設備無腐蝕、控制精細

等優點，已成為其他硅源氣體無法替代的重要特種氣體。它不僅用于大型或超大型集成電路、

芯片等電子行業，還用于液晶顯示器行業、薄膜太陽能電池行業、半導體LED照明行業和低輻

射（Low-E）鍍膜玻璃等領域。

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