氣體混合物是指根據使用要求,按一定比例生產的兩種或多種純氣體的混合物。有二元或多組分氣體混合物,有數千種。普通氣體混合物分為普通氣體混合物和電子工業用氣體混合物。一般氣體混合物包括激光氣體混合物、特殊儀器氣體混合物、焊接氣體混合物、防腐氣體混合物、電光源氣體混合物、醫學和生物研究氣體混合物、消毒和滅菌氣體混合物、泄漏檢測(報警)氣體混合物、高壓氣體混合物和零級空氣。電子工業的混合物包括外延(生長)混合物、化學氣相沉積(CVD)混合物、摻雜混合物、蝕刻混合物和其他電子混合物。