輝光放電(glow discharge)是指低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現(xiàn)象,即是稀薄氣體中的自持放電(自激導電)現(xiàn)象。由法拉第第一個發(fā)現(xiàn)。它包括亞正常輝光和反常輝光兩個過渡階段。輝光放電主要應(yīng)用于氖穩(wěn)壓管、氦氖激光器等器件的制造。今天紐瑞德特氣小編月月為大家介紹一下高純氦氣在大氣壓介質(zhì)表面輝光放電下的電性研究實驗。
本實驗在高頻電壓與He氣流的操作范圍下,成功的建立了均勻的大氣壓介質(zhì)表面輝光放電(Atmospheric Pressure Surface Barrier Discharge,APSBD),并且產(chǎn)生多脈沖輝光放電(pseudo-glow discharge)。經(jīng)由改變實驗的參數(shù)(外加電壓的振幅與頻率、He氣流流速),分別對多脈沖輝光放電的電性與光譜進行量測與分析,進而了解APSBD的物理性質(zhì)與電漿性質(zhì)。實驗中,成功將外加電壓值與平均放電功率關(guān)系推導出一條二次曲線Pav=A(Vp-Vo)2,進而求得電漿密度(約為109cm-3)。并且由光譜的診斷,求出APSBD的平均電子激發(fā)溫度(約為3000~3300K)。這兩點可以在不影響操作的前提下,量測APSBD的電性,同時可以掌握操作的情況,對于工業(yè)的應(yīng)用上有很大的助益。
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