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我的中國“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過程中，電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟，都需要使用各種類型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體，摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體，如砷烷、磷烷等。更多 +
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磷烷PH3化學品安全技術說明書MSDS
磷烷PH3化學品安全技術說明書MSDS磷烷,磷烷氣體,磷烷標準氣體,磷烷混合氣體 第一部 分化學品化學品中文名稱：磷烷msds化學品俗名或商品名：膦、磷化氫英文別名:GAS EX-B; hydrogen phosphide; Phosphine? phosphorated hydrogen;phosphorus hydride; Phosphorus trihydride第二部分 成分/組成信息化學品名稱：磷烷化學式：PH3有害物成分：PH3濃度：99%度更多 +
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標準氣鋁合金鋼瓶的特殊處理技術
A.標準氣鋼瓶的CL- 1 型特殊處理技術 該系列產品的特點是內表面涂覆光潔、憎水、耐蝕及化學惰性的涂層，具有很強的抗腐蝕和保持氣體純度的能力。可用于充裝高品級電子氣體，如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氫、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等氣體，國內首創，達到國際同類產品先進水平。該產品正逐步代替進口特種鋼瓶，用于充裝國內高品級特種氣體和出口用特種氣體。 合作方式：提供各種規格的特殊處理氣瓶。 B.標準氣鋁合金鋼瓶的CL-2型特殊處理技術 &nbs更多 +
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2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發展現狀
隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展，特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，從應用領域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。 近年來，隨著下游應用領域的逐步擴展，特種氣體的品種也與日俱增，據不完全統計，我國已有的特種氣體達260余種。 隨著非低溫氣體分離技術（吸附、膜分離）、混配技術和提純技術的發展，更多的特種氣體產品將逐步走向市場。 電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
