六氟化硫在常溫常壓下為無色無臭無毒的氣體。不燃燒。對熱穩定，化學性質不活潑。在500℃以上熾熱狀態下也不分解，在800℃以下很穩定。在250℃與金屬鈉反應。沒有腐蝕性，可以用通用材料，不腐蝕玻璃。電絕緣性能和消弧性能好，絕緣性能為空氣的2~3倍，而且氣體壓力越大，絕緣性能越增高。藥物學性質不活潑，沒有毒。微溶于水，在酒精和醚中溶解的比在水中多一些。不溶于鹽酸和氨。水中的溶解度為：（分壓101.325kPa，25℃）。介電常數為：1002049（氣體，101.325kPa，25℃）。在21.1℃時S.P.為2308kPa。
    制法
    在高溫下硫和氟反應制得。
    S+3F2→SF6
    用途
    電子設備、雷達波導、粒子加速器、變壓器、避雷器等的氣體絕緣體，制冷劑，示蹤裝置，醫療，半導體制造中的蝕刻、化學氣相淀積、標準氣，檢漏氣體，色譜儀的載氣。
    毒性
    最高容許濃度：10ppm（12mg/m3）
    六氟化硫在生理學上是不活潑的，在藥理學上認為是惰性氣體。但是當含有等雜質時便變成有毒物質。當吸入高濃度時可出現呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍、全身痙攣等窒息癥狀。
    安全防護
    用氣裝置可用肥皂液檢漏。無腐蝕性，可以使用不銹鋼、銅、鋁等通用材料。發生火災時可用水和砂土滅火。泄漏的氣體，可導入苛性鈉和消石灰的混合溶液中處理，或者把泄漏的氣瓶放入通風櫥內。