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晶圓制造之血液
電子氣是半導(dǎo)體工業(yè)的重要原料 電子氣體簡介 特種電子氣（簡稱特種電子氣）是特種氣體的一個重要分支，是生產(chǎn)集成電路（IC）、平板顯示器（LCD、LED、OLED）、太陽能（8.360，-0.12，-1.42%）電池等電子工業(yè)不可或缺的原材料。 一般來說，半導(dǎo)體制造業(yè)中的氣體分為普通氣體和特種氣體。其中，常用氣體是指集中供氣并使用多種氣體的氣體，如N2、H2、O2、AR、he等。特殊氣體是指半導(dǎo)體制造中使用的一些化學(xué)氣體，如膨脹、離子注入、混合、清洗、掩蔽，即氣體類別中的電子氣體，如高純度SiH4、P更多 +
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氮氣在冶金工業(yè)和電子工業(yè)中的應(yīng)用
冶金工業(yè) 在冶金工業(yè)中，氮氣主要用作保護(hù)氣體和吹掃氣體。在軋鋼和金屬熱處理過程中，由于氮的保護(hù)，金屬的高溫氧化減少，表面光滑。向有色金屬熔煉爐中充氮可以降低含氧量和溫度，減少氧化，提高產(chǎn)品純度。用氮氣清洗鋼水，降低鋼水中的氫含量，提高產(chǎn)品強度。向高爐噴入86%的氮氣可以降低焦炭消耗，延長使用壽命。向等離子弧爐中充氮可生產(chǎn)氮化高速工具鋼。 電子工業(yè) 在電子工業(yè)中，用干燥的氮氣吹制硅片可以保持硅片干燥和清潔。在大型集成電路的制造中，高純氮可用作化學(xué)反應(yīng)氣體的載氣、惰性保護(hù)氣體和封裝氣體。更多 +
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氦氣應(yīng)用（二）
（1）氦在電子工業(yè)領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。在半導(dǎo)體、液晶面板和光纖制造過程中，氦氣在實現(xiàn)零部件快速冷卻同時還能控制熱傳遞速率，改善了生產(chǎn)效率并減少了缺陷。此外，氦氣在硅晶片生產(chǎn)中也用作保護(hù)氣，隔絕空氣，避免單質(zhì)硅和氧氣發(fā)生反應(yīng)。在電子支付領(lǐng)域，氦氖混合制成的氦氖激光器便宜高效且能耗低，廣泛應(yīng)用于條形碼識別、二維碼支付等。 （2）核磁共振成像領(lǐng)域，已知的超導(dǎo)材料都要在-130℃以下的低溫中才能表現(xiàn)出特性，只有液氦能比較高效的實現(xiàn)這樣穩(wěn)定的超低溫。核磁共振成像儀的核心也是超導(dǎo)磁體，沒有液氦就不能更多 +
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氦氣應(yīng)用（三）
氦氣具有許多有用的特性，包括導(dǎo)電性和導(dǎo)熱性。在許多領(lǐng)域，這些屬性是必需的。氣體通常用于航空、火箭、核工業(yè)和電子工業(yè)以及醫(yī)藥。 1915 年，德國首次使用氦氣，他們開始用它填充飛艇。很快，這種輕質(zhì)且不易燃?xì)怏w成為航空交通工具不可或缺的填充物。1930 年代，由于化學(xué)家、冶金學(xué)家和機械制造商開始關(guān)注這種元素，人們對飛艇建造的興趣減弱，導(dǎo)致氦產(chǎn)量減少，盡管只持續(xù)了很短的時間。 氦氣非常輕，因此可以在浸入水中或用于航空（氣球、飛艇）時使用。 這種氣體是無毒的，可以吸入而不損害健康。正是由于這個原因更多 +
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單組分氣體應(yīng)用
N2；化肥、氨、硝酸等化合物的制造，惰性保護(hù)介質(zhì)，速凍食品，低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑，電子工業(yè)中的外延、擴散、化學(xué)氣相沉積，離子注入，等離子干刻、光刻等，還用作標(biāo)準(zhǔn)氣、校正氣、零點氣、平衡氣。 充入燈泡能防止鎢絲的氧化和減慢鎢絲的揮發(fā)速度，延長燈泡的使用壽命，代替惰性氣體作焊接時的保護(hù)氣。 真空充氮儲糧和水果，博物館里書籍的保存。 液氮給手術(shù)刀降溫，“冷刀”手術(shù)減少出血或不出血，術(shù)后恢復(fù)快。 低溫存儲等。 Xe；用于閃光燈，深度麻醉劑，激光器，焊接，難熔金屬切更多 +
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半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈之電子特種氣體行業(yè)深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應(yīng)用。由于它的化學(xué)穩(wěn)定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。當(dāng)今超大規(guī)模集成電路所用電子氣體的特點和發(fā)展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規(guī)模，各國為推動本國微電子工業(yè)的發(fā)展，越來越重視發(fā)展特種電子氣體的生產(chǎn)技術(shù)。就目前 而言，CF4更多 +
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特種氣體的應(yīng)用
電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。 電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。 特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)更多 +
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5G時代，鍺烷市場需求凸顯
鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對整個行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價值。5G時代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來滿足其對高性能和低功耗的要求。國家發(fā)改委《增強制造業(yè)核心競爭力三年行動計劃(2018-2020年)》曾對鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間更多 +
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電子級氯化氫市場迎來重大機遇
電子級氯化氫屬于國家重點鼓勵發(fā)展類項目，隨著微電子工業(yè)向著大尺寸、高集成化、高均勻性和高完整性方向的飛速發(fā)展，對廣泛用于硅外延片和外延機座腐蝕的電子級氯化氫也有了新的要求。除了應(yīng)具有99.999%以上的純度，還要求氯化氫的THC、H2O和金屬離子等有機雜質(zhì)的含量越低越好。 硅外延片下游終端應(yīng)用廣泛，近年隨著新興技術(shù)的出現(xiàn)其下游應(yīng)用不斷拓寬，新興應(yīng)用市場不斷涌現(xiàn)。通信、計算機、消費電子、光伏、智能電網(wǎng)、醫(yī)療電子等終端應(yīng)用領(lǐng)域的快速發(fā)展以及人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興產(chǎn)業(yè)的崛起極大地促進(jìn)了集更多 +
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