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半導體產業鏈之電子特種氣體行業深度研究:四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻,在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩定性極 強,CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業等。當今超大規模集成電路所用電子氣體的特點和發展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規模,各國為推動本國微電子工業的發展,越來越重視發展特種電子氣體的生產技術。就目前 而言,CF4更多 +
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帶你了解一下我國的電子氣體
2018年全球集成電路用電子氣體的市場規模達到45.12億美元,同比增長16%,半導體用電子特氣行業增速高,龐大的市場規模,讓電子特氣的國產替代計劃全面加速! 什么是電子氣體呢? 電子氣體指的是用于半導體、平板顯示、發光二極管、太陽能電池及其它電子產品生產的基礎性源材料,被廣泛的應用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應用范圍包括電子行業、太陽能電池、移動通訊、汽車導航及車載音像系統、航空航天、軍事工業等諸多領域。 電子特氣按其本身化學成分可分為:硅系、砷系、磷系更多 +
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四氟化碳是什么?有什么用?
四氟化碳又稱四氟甲烷,被視為一種無機化合物。用于各種集成電路的等離子刻蝕工藝,也用作激光氣體及制冷劑。常溫常壓下比較穩定,但是需要避免接觸強氧化劑、易燃或可燃物。四氟化碳是不燃氣體,如果遇到高熱后會造成容器內壓增大,有開裂、爆炸危險。通常常溫下只會與液氨-金屬鈉試劑能發生作用。 四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,可廣泛用于硅、二氧化硅,磷硅玻璃等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄露檢驗劑、印刷電路生產中的去污劑等更多 +
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我國電子氣體發展的三大難點!
電子氣體是高科技產業重要的“源”資料,是集成電路制作過程中必不可少的要害支撐資料。據專業人士泄漏,中國半導體行業要實現從跟隨走向引領的跨越,電子氣體的打破一定會是最重要的一環。 半導體制作過程中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運用大量的電子氣體,且電子氣體的純度對芯片質量影響很大。跟著集成電路制程節點不斷縮小(已經走到10/7納米),對電子氣體的顆粒度和雜質含量的要求也越來越高。因此,集成電路技能快速發展,對電子氣體的種類、數量、質量、安全性以及安穩更多 +
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電子氣體國產化,為何難以實現?
廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一;狹義的“電子氣體”特指半導體行業用的氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝,被稱為半導體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。 在硅片制造廠,一個硅片需要兩到三個月的工藝流程,完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序,需要的高純電子化學氣體及更多 +
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四氟化碳在微電子行業的應用
四氟化碳,又稱為四氟甲烷。它既可以被視為一種鹵代烴、鹵代甲烷、全氟化碳,也可以被視為一種無機化合物。所以在電子行業中制作線路板蝕刻過程中,需要使用四氟化碳。在蝕刻過程中,用四氟化碳將多余的銅皮腐蝕掉,附有油墨的電路上銅皮得以保留,之后再用四氟化碳進行清洗電路上的油墨再烘干,等工藝。 四氟化碳是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體,也可以廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻,在電子器件表面清洗,太陽能電池的生產,鋁合金門窗制造、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗劑、控更多 +
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液氨廢氣該如何處理?
液氨整理加工過程有廢氣排出,其組成有水蒸氣、空氣和氨氣,其中氨氣是有害氣體,影響健康污染環境,為此要減少排放,加強回收,一方面可降低成本,另一方面可保護環境。 氨的回收有吸收法,把來自液氨整理機排出的氣體,通過管道輸送至回收裝置的洗滌塔(吸收塔),把混有空氣的氨氣在此塔內用水吸收成氨水,此時空氣被清洗并排出塔外,然后通過蒸餾塔將氨和水分離,氨被蒸餾吸收制成濃氨水,濃氨水經精餾即成濃氨氣,再將濃氨氣經壓縮機加壓和冷凝冷卻成液氨,最后輸入貯存罐。更多 +
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必須Get! 核磁管清潔方法介紹大全
核瓷管清晰的幾種方法: 1.直接用帶著清洗液的棉棒插入核瓷管進行清洗。這種方法洗的比較干凈但是費時費力,而且非常容易劃傷核磁管。 2.把核瓷管放入清洗液中,在超聲波清洗器中清洗。這種方法優點就是快,大批量的清洗比較適宜。但個人感覺清洗質量不是很好。最好不要超聲,即使你看見沒碎也可能有了裂痕,那樣可能會污染核磁儀的。 3.用專用的核磁管清洗器,核磁管多可以用五支管的,核磁管少的話可以用單支管的。這種方法清洗速度快,而且清洗的質量也不錯。紐瑞德小更多 +
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高純氬的作用及注意事項
高純氬是主要的工業原料,也是最重要的工業氣體和特種氣體,在石油化工、電子工業、冶金工業、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。高純氬的作用有很多,而且在使用的時候也有很多注意事項。下面譜源氣體為大家介紹一些氬氣方面的知識。 高純氬的作用: 1、高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體。 2、可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體。 3、在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。 ; 4、高純氬也可作為色更多 +