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我國電子氣體發展的三大難點!
電子氣體是高科技產業重要的“源”資料,是集成電路制作過程中必不可少的要害支撐資料。據專業人士泄漏,中國半導體行業要實現從跟隨走向引領的跨越,電子氣體的打破一定會是最重要的一環。 半導體制作過程中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相堆積、分散等要運用大量的電子氣體,且電子氣體的純度對芯片質量影響很大。跟著集成電路制程節點不斷縮小(已經走到10/7納米),對電子氣體的顆粒度和雜質含量的要求也越來越高。因此,集成電路技能快速發展,對電子氣體的種類、數量、質量、安全性以及安穩更多 +
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高純氣體如何成為零點氣體
高純氣體用作零點氣的制作完全類似于氣體標準物質的制作,但操作過程可以簡化。通常使用的稀釋氣體中的某種或某類雜質含量低于分析方法所采用測量儀器的最小檢出量,則此種稀釋氣就可作為“零點”氣使用。 零點氣體是用于在給定的含量范圍內,用給定的分析方法去校準標準工作曲線的零點。當其作為被測樣品進入檢測儀表后,在儀器選下的測量范圍內,僅呈現儀表零點的響應值,而不會產生偏離預置零點以外的響應信號。對不同類型的檢測方法和不同燈頭型的檢測儀器,最低檢測限會對零點氣體提出不同的更多 +
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電子工業中如何正確選用高純氣體
隨著科學技術向高、精、尖發展,對各種原材料“純度”的要求開始越來越高。但是,高純氣體所能提供的數量通常總是較少的,同時,價格昂貴。因此,如何正確地恰如其分地提出對原料氣的純度要求,如何選用高純氣就成為一個值得討論的問題。 通常,人們常用百分濃度來轟示氣體的純度,即所謂用幾個“9”字的表示法。例如,某種氣體濃度為99.9%,表示含有0.1% 的雜質(即雜質含量為1000ppm)。按通常的概念,顯然,濃度為99.995%的氣體比99.99更多 +
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高純氖氣生產制取方法
高純氖氣是指其純度不低于99.999%,即雜質含量小于10x10-6(體積分數)的高純氖氣。工業上提供的出氣體其雜質總量一般都小于100x10-6(體積分數)。因此高純氖氣生產,必須將工業純氖氣通過進一步純化,使雜質脫除到10x10-6(體積分數)以下。更多 +
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氣體行業把瓶裝氣體產品都分為哪些種類呢?
特種氣體分為:高(超高)純氣體、標準氣體和具有特定組成的混合氣體。工業上,把常溫常壓下(1atm 15℃),呈現出氣態的物質稱為氣體產品。一般工業性氣體和特種氣體產品。一般工業性氣體:一般工業性氣體產銷量巨大,對氣體的純度要求不高;特種氣體有別于一般工業氣體,它是具有特殊用途,并在特定領域中應用的,對純度、雜質含量、組成、物化性能等有特殊要求的一類氣體產品。更多 +