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四氟化碳僅僅只是一種超低溫冷媒嗎？
CF4，中文名稱四氟化碳、四氟甲烷，英文名稱Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane，分子式CF4。也被稱為R-14制冷劑，別名R14、氟利昂14、PFC-14，商品名稱有Freon 14等。 四氟化碳氣體理化特性 在常溫下，四氟甲烷是無色、無臭、不燃，不溶于水的可壓縮性氣體。沸點：-128℃，熔點：-183.6℃。液體密度（-130℃）1.613g/cm3，臨界溫度-45.67℃，臨界壓力3.74Mpa，蒸氣壓（-150.7更多 +
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氨氣氣體特性及氨氣檢測儀在使用過程中的注意
氨氣的特性：氨氣為無色氣體,有毒，危險等級為2.2。有刺激性味。常見的制冷劑。分子式NH3。分子量17.03。相對密度0.7714g/l。熔點-77.7℃。沸點-33.35℃。自燃點651.11℃。蒸氣密度0.6。蒸氣壓1013.08kPa(25.7℃)。蒸氣與空氣混合物爆炸極限16～25%(最易引燃濃度17%)。 按國家標準《工作場所有害因素職業接觸限值GBZ2-2002》規定，車間中氨氣最高允許濃度為30mg/M3,約為39.5ppm。在實際檢測當中更多 +
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半導體產業鏈之電子特種氣體行業深度研究：四氟甲烷
四氟甲烷(CF4)是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅和磷硅玻 璃等材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽能電池的生產、激光技術、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測劑、 控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑、潤滑劑及制動液等方面也有大量應用。由于它的化學穩定性極 強，CF4 還可用于金屬冶煉和塑料行業等。當今超大規模集成電路所用電子氣體的特點和發展趨勢是超純、超 凈和多品種、多規模，各國為推動本國微電子工業的發展，越來越重視發展特種電子氣體的生產技術。就目前 而言，CF4更多 +
