-
我的中國“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過程中,電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟,都需要使用各種類型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體,摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體,如砷烷、磷烷等。更多 +
-
砷烷AsH3化學品安全技術說明書MSDS
砷烷AsH3化學品安全技術說明書MSDS 砷烷,砷烷氣體,砷烷標準氣體,砷烷混合氣體 第一部分 產品概述產品名稱:砷烷msds化學名稱:砷化氫分子式:AsH3代名稱:三氫化砷第二部分 主要組成與性狀純度:>99%CAS 號碼:7784-42-1暴露極限:OSHA:PEL=0.05ppm ACGIH:TLV-TWA=0.05ppm NIOSH:IDLH=3ppm第三部分 危害概述緊急情況綜述 砷烷高毒、易燃、無色,在氣瓶中是一種液化氣體,70F時蒸氣壓為203.2ps更多 +
-
標準氣鋁合金鋼瓶的特殊處理技術
A.標準氣鋼瓶的CL- 1 型特殊處理技術 該系列產品的特點是內表面涂覆光潔、憎水、耐蝕及化學惰性的涂層,具有很強的抗腐蝕和保持氣體純度的能力。可用于充裝高品級電子氣體,如硅烷、乙硼烷、磷烷、砷烷、氯化氫、二氯甲硅烷、三氯化硼及氨等氣體,國內首創,達到國際同類產品先進水平。該產品正逐步代替進口特種鋼瓶,用于充裝國內高品級特種氣體和出口用特種氣體。 合作方式:提供各種規格的特殊處理氣瓶。 B.標準氣鋁合金鋼瓶的CL-2型特殊處理技術 &nbs更多 +
-
臺大疑似砷化氫外泄,砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢?
據臺灣“中時電子報”報道,11月5日上午10時許,國立臺灣大學電機系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄,由于適逢期中考,校方緊急疏散師生,11人預防性送到醫院檢查。 臺灣網友指出,氣體是從4樓外泄,出事的實驗室是做半導體的,這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導體上面,其本身是無色無臭氣體,易燃且極毒。報道說,詳細情況及出事原因到底為何,仍有待進一步了解。 在半導體中應用,砷烷用于半導體工業中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
-
超高純氣體了解一下!
首先,我們來了解一下什么是“超純氣體”呢? 超純氣體指純度高于99.99%的氣體,為適應一些科學研究和尖端技術的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門,需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數應小于三個。 目前,超純氣體的品種發展十分迅速,1981年至今,單一超純氣體已有120多種,混合超純氣體12類。 除以上的單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯更多 +