對于氣體,純度是衡量氣體質量的標準。作為惰性氣體,氬氣可以用作生產單晶和多晶的保護氣體。為了提高硅晶體的質量,選擇高純度的氬氣非常重要,這不僅可以提高晶體的壽命,而且可以滿足市場需求。
通常,氬氣凈化過程由清潔裝置實現。氬氣提純方法可分為直接脫氧法和吸氣劑提純法。
直接脫氧法:活性金屬與氬氣中的氧反應,消化氬氣中氧,達到脫氧的目的。分子篩吸附的氬氣中的水分子使氬氣的水含量小于1ppm。
吸氣劑清潔方法:使用吸氣劑清洗劑或干燥劑。吸氣劑可以與氬氣中的痕量單元形成穩定的連接,以達到精煉氬氣的效果。經吸
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